關(guān)于下降沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備內(nèi)部VOCs殘留的辦法
現(xiàn)在***內(nèi)外對(duì)VOC的結(jié)尾管理辦法有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。以沸石資料為載體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸石轉(zhuǎn)輪）得到了較為廣泛的運(yùn)用。全***對(duì)VOCs污染物防治的要求和力度逐步加強(qiáng)，低濃度廢氣管理的沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮法成為了許多企業(yè)的***選管理計(jì)劃。
下降沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備內(nèi)部VOCs殘留可從改進(jìn)VOCs廢氣的進(jìn)氣質(zhì)量和加強(qiáng)脫附功率兩方面下手。
（1）廢氣預(yù)處理
廢氣預(yù)處理辦法一般有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對(duì)待處理的VOCs廢氣實(shí)踐情況，選取恰當(dāng)?shù)膹U氣預(yù)處理辦法。比方，半導(dǎo)體出產(chǎn)制作進(jìn)程對(duì)出產(chǎn)場(chǎng)所的顆粒物有嚴(yán)厲的要求，出產(chǎn)場(chǎng)所一般為潔凈車(chē)間。因而，有機(jī)廢氣中的顆粒物含量很少，一般無(wú)需進(jìn)行除塵預(yù)處理。
比方，芯片制作業(yè)出產(chǎn)進(jìn)程中運(yùn)用的***要有機(jī)質(zhì)料經(jīng)過(guò)具有低沸點(diǎn)、易揮發(fā)的***色，但仍不掃除少數(shù)高沸點(diǎn)物質(zhì)，如剝離液的***要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等?？稍诟叻悬c(diǎn)物質(zhì)***要運(yùn)用工序增設(shè)冷凝、前道活性炭吸附等預(yù)處理設(shè)備，以下降VOCs廢氣中難脫附高沸點(diǎn)物質(zhì)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪。
高沸點(diǎn)VOCs進(jìn)入廢氣管道后簡(jiǎn)單發(fā)作凝聚，然后使廢氣濕度增***。當(dāng)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪體系的有機(jī)廢氣濕度***于80%時(shí)，將對(duì)疏水性沸石分子篩發(fā)作較為嚴(yán)峻的影響。因而，主張企業(yè)對(duì)高濕度廢氣增設(shè)枯燥除濕預(yù)處理設(shè)備，使得進(jìn)入廢水轉(zhuǎn)輪體系的廢氣濕度堅(jiān)持在安穩(wěn)、可控的范圍內(nèi)。
（2）高溫再生
依據(jù)對(duì)***內(nèi)芯片企業(yè)展開(kāi)的調(diào)研可知，芯片制作業(yè)常用的有機(jī)物質(zhì)有異丙醇（沸點(diǎn)為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點(diǎn)為146℃）；一起還含有少數(shù)的高沸點(diǎn)物質(zhì)，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。
一般芯片制作業(yè)沸石轉(zhuǎn)輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點(diǎn)的二甘醇胺等物質(zhì)將無(wú)法從沸石轉(zhuǎn)輪上有用脫附，然后逐步積累在轉(zhuǎn)輪內(nèi)部。
對(duì)沸石轉(zhuǎn)輪體系的高沸點(diǎn)物質(zhì)集合情況展開(kāi)了研討，當(dāng)沸石轉(zhuǎn)輪體系運(yùn)轉(zhuǎn)1個(gè)月后，轉(zhuǎn)輪內(nèi)部的確有較很多的有機(jī)物積累，其有機(jī)物積累量即達(dá)6wt。進(jìn)行有用的高溫脫附之后，其內(nèi)部的有機(jī)物積累量可下降約40%～60%。因而，高溫脫附可較為有用地去除沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部積累的高沸點(diǎn)有機(jī)物質(zhì)。
企業(yè)應(yīng)依據(jù)廢氣的實(shí)踐發(fā)作情況，剖析廢氣組成散布，剖析高沸點(diǎn)物質(zhì)占比情況，以及廢氣的發(fā)作總量等內(nèi)容，然后確認(rèn)高溫再生頻次。較為適合的高溫再生頻次為2～3個(gè)月一次。
高溫再生的溫度也會(huì)影響高溫脫附作用。若高溫脫附溫度選取過(guò)低，則高沸點(diǎn)物質(zhì)仍無(wú)法有用脫除；若高溫脫附溫度選取過(guò)高，將對(duì)沸石分子篩的骨架結(jié)構(gòu)發(fā)作必定的影響，然后下降其運(yùn)用壽命。高溫脫附溫度宜選取300℃左右，而且，相應(yīng)的沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。
(3)水洗再生
芯片制作業(yè)常用的有機(jī)物質(zhì)（如異丙醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等）一般具有較***的水溶性，可選用水洗再生的方法去除沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部集合的高沸點(diǎn)物質(zhì)。
水洗再生可有用進(jìn)步沸石轉(zhuǎn)輪體系的管理功率，關(guān)于工廠，當(dāng)水洗再生次數(shù)到達(dá)4～6次/年時(shí)，沸石轉(zhuǎn)輪體系的管理功率可達(dá)95%～99%。因而，恰當(dāng)添加定時(shí)水洗再生頻次，可有用避免高沸點(diǎn)物質(zhì)在沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部的集合，堅(jiān)持高效的管理功率。
因?yàn)榉惺D(zhuǎn)輪一般選用無(wú)機(jī)粘合劑將分子篩涂覆在陶瓷纖維紙外表制作而成。故水洗時(shí)不只轉(zhuǎn)輪不會(huì)發(fā)作龜裂形變，也不會(huì)發(fā)作因?yàn)榉肿雍Y掉落所導(dǎo)致的功能劣化、運(yùn)用壽命縮短等問(wèn)題。
a
可是，水洗時(shí)需求留意水質(zhì)情況，若其間很多含有鈣、鎂等離子，將可能在沸石內(nèi)部構(gòu)成碳酸鹽，堵塞沸石轉(zhuǎn)輪的蜂窩狀孔道；水中所含微量重金屬物質(zhì)、氯等也會(huì)毒化沸石。
值得留意的是，并非一切沸石轉(zhuǎn)輪原料均可耐水洗，企業(yè)應(yīng)在水性再生之前，向沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備的制作廠商做***相關(guān)的咨詢(xún)作業(yè)。
（4）高壓空氣吹掃
企業(yè)在停機(jī)檢修理期間，選用高壓空氣對(duì)沸石轉(zhuǎn)輪進(jìn)行吹掃。但是，高壓空氣吹掃一般只可清楚沸石轉(zhuǎn)輪外表附著的塵埃，而VOCs有機(jī)質(zhì)一般吸附在分子篩孔道內(nèi)部，無(wú)法得到有用的脫除，還需與上述其他處理方法合作選用。
